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TFT-LCD制造工藝流程

                                                                                                                                                                                                            文/三元晶

薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)通常采用兩個(gè)加工過(guò)程并行進(jìn)行加工成成品,如圖1所示。其基本工藝如下:

                        圖1. TFT-LCD 工藝流程圖


● 通過(guò)前玻璃基板/彩色濾光基板工藝過(guò)程形成精確排列的彩色濾光層。
● 薄膜基板工藝形成薄膜晶體管液晶(TFT)陣列及顯示器像素控制所用其它電子元件。每個(gè)像素一般對應三個(gè)薄膜晶體管液晶(TFT),每個(gè)像素控制一個(gè)共同構成一個(gè)像素的“色點(diǎn)”。薄膜形成工藝采用與半導體制造技術(shù)相類(lèi)似的CVD、Etch及PVD等工藝技術(shù)。此類(lèi)工藝步驟應反復數次,連續膜層方可形成一個(gè)功能元件(圖2)。

              圖2. TFT-LCD的典型陣列工藝步驟


● 兩塊基板合二為一,中間注入液晶材料。
● 最后組裝背光及驅動(dòng)電子元件,制造出TFT-LCD 模塊。


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